量子芯片/计算机、GPT4.0……在硅基时代，伴随着算力需求的提升，更小体积、更低功耗、更强性能的半导体元器件成为现实需求，呼唤着材料技术的革新。在苏州人工智能产业园，西交利物浦大学（简称“西浦”）首家教授科技成果转化企业苏州市华芯云睿微电子科技有限公司，凭借完全自主研发的核心技术和在工艺、热传导模型等领域的多项突破，获批苏州工业园区科技领军人才，开启了第四代半导体的无限可能。推动高新技术产业发展的浪潮中，产学研合作及集成电路企业的深度研发，聚焦自主可控攻坚克难，苏州市华芯云睿微电子科技有限公司（简称“华芯云睿”)实现成果转化金额超1500万元，学术研究与企业相结合多元化的科技成果转化路径充分得到验证与实现。
华芯云睿脱胎于西浦智能工程学院高级副教授赵春博士主持的“苏州工业园区MEMS先进高性能传感器芯片成果转化平台“，是西浦首家教授科技成果转化企业，同时是国际首批开展第四代半导体材料(宽禁带金属氧化物)研究的科研团队。以应用为先导，园区MEMS先进高性能传感器芯片高校成果转化平台不仅在第四代半导体领域实现多项“全球首次”，孵化出华芯云睿，更是蹚出了高校科技成果转化的加速路径。华芯云睿总经理兼首席科学家赵春博士，博士生导师，九三学社社员。现任西交利物浦大学智能工程学院高级副教授（先进半导体及纳米技术），苏州市新能源技术重点实验室副主任。东南大学学士、香港科技大学硕士、英国利物浦大学微电子学博士、香港科技大学访问学者。先后入选深圳市海外高层次人才计划、江苏省高层次创新创业人才引进计划、苏州市工业园区科技领军高层次人才，荣获2023年苏州市优秀教师，担任英国利物浦大学、中国科学技术大学博士学位评审委员会专家。作为首席科学家主持承担多项国家省部市科技专项，包括2024年中央引导地方专项、2024年国家自然科学基金面上项目、2023年深圳市重大科技专项等，担任第17届、18届、22届 IEEE国际集成电路设计与工艺大会技术委员会主席、出版主席。主持参与在研科研项目经费逾2000万元。现拥有美国发明专利3项、中国发明专利16项、超过170篇国际知名期刊和国际会议论文及报告。相关学术及技术成果自2017年以来，受到Nature Reviews Materials、Nature Materials、Nature Electronics、Nature Communication、Science Advance、Advanced Materials等国际顶级学术期刊关注报导。
在智能科技飞速发展的浪潮中，MEMS传感器技术正成为推动各行业变革的关键力量。早在2021年，深圳市华芯邦科技有限公司就与西交利物浦大学携手，开启了MEMS传感器领域的联合研发之旅。双方聚焦于第四代半导体材料：宽禁带金属氧化物半导体，将其应用于传感器芯片的核心温度敏感元件，成功实现了高精度传感器芯片的产业化，为智能设备的精准感知提供了强大的技术支撑。华芯云睿，作为华芯邦与西浦产教融合的结晶，不仅是双方科技成果转化的见证者，更是苏州地区经济发展和高科技产业集群崛起的有力推动者。华芯云睿作为国际首批开展第四代半导体材料研究的研发团队，在全球范围内首次基于第四代半导体运用外延生长及掌握深浅双能级可控掺杂工艺，首次构建第四代半导体金属氧化物半导体内部热量-载流子运动行为模型，首次成功将第四代半导体材料应用于传感器芯片的核心温度敏感元件，大幅提升核心技术完全自主研发，独创的晶圆制造工艺、封测工艺，大幅降低综合成本。华芯云睿凭借其在MEMS传感器领域的深厚积累，已经在消费电子、汽车、工业、医疗、航空航天、物联网、能源管理和科研等多个领域崭露头角，其产品凭借高精度、低功耗、小尺寸等优势，深受市场青睐。
随着具身智能和人形机器人技术的快速发展，MEMS传感器芯片的应用前景愈发广阔。华芯云睿在这一领域进行了前瞻布局，其研发的高精度MEMS传感器芯片能够为具身智能和人形机器人提供关键的感知能力。例如MEMS六维力传感器是人形机器人的核心部件之一，通常在双足机器人中需要安装四套，旨在提供最全面的力觉信息。这种传感器不仅能够提升机器人的操作性能，还能显著增强其稳定性。华芯云睿的MEMS传感器芯片在手腕部可提升机器人的手部灵活性，使之能够更精确地进行抓握、搬运及装配等任务；在脚腕和足底则可协助机器人感知地面的反作用力，从而调整身体姿态，确保行走的稳定性。此外，华芯云睿的MEMS传感器芯片还具备高集成度、高灵敏度和高精度等优势，能够满足人形机器人对高性能传感器的需求。随着人形机器人市场的快速增长，华芯云睿的产品有望在这一新兴领域占据重要份额。
展望未来，华芯云睿将持续深耕MEMS领域，积极探索MEMS传感器与AI算法的深度融合。通过攻克关键核心技术，华芯云睿致力于在消费电子领域实现更智能的交互体验，在汽车领域提升自动驾驶的安全性和可靠性，在医疗领域助力精准医疗的发展。同时，华芯云睿还将拓展航空航天、物联网等新兴领域的应用，以技术创新为驱动，不断拓展MEMS传感器的应用边界。华芯云睿的目标是成为中国半导体事业MEMS技术的领航者。在这一征程中，公司将继续加强与高校、科研机构的深度合作，加速科技成果转化，为全球市场提供更具竞争力的MEMS传感器解决方案。
