随着现代医疗技术的突飞猛进及人们对健康的重视度提高，高科技医疗设备逐渐步入我们的日常生活。电子血压计、呼吸机、制氧机、雾化器、监护仪等因为小型化、便携化、智能化、多功能化的发展，实现医院和家用等多场景使用突破，为患者提供了极大的便利，并在健康保健方面发挥着重要的作用。其中的核心器件——MEMS传感器其市场应用规模极大。
华芯邦致力于研发前沿科技，一直在探索的医疗雾化领域在2024年迎来新进展，这也被视为是华芯邦的下一个增长曲线。推出了一种采用高精尖创新微机电系统（MEMS）质量流量传感器技术的MEMS气体流量传感器。这款传感器MEMS开关麦经过多年潜心研究与技术积累，已成为医疗气体流量测量领域的佼佼者。MS2200AB是一款适用于医疗雾化呼吸状态检测的MEMS 气流压力开关传感器，开关麦内部集成了一颗开关芯片和一颗硅麦传感器，是医疗雾化呼吸机状态检测MEMS&专用气流检测ASIC合封传感器芯片，检测到呼吸气压变化时将气压变化量转换为电容变化量，并通过专用气流检测ASIC输出数字开关信号，进而判断用户操作行为，并输出相应触发高低电平信号。
这款医用气体流量测量&过程控制气体质量流量传感器模组，不仅展现出超卓的高灵敏度和高精度表现，亦具备了令人赞叹的大量程比，提升测量的可靠性与多样性。独特的设计理念使传感器无需复杂的温度和压力补偿，极大简化了使用过程。此项技术广受赞誉，并且被广泛应用于现代医疗设备领域，为广大医护人员提供可靠的气体流量控制，确保了患者治疗的精准性与安全性。采用2.7×1.8mm封装，体积小、可多次回流焊，满足SMT 贴片作业可实现高效率自动化生产。
华芯邦自研的MEMS气体流量传感器已成为医疗领域不可或缺的技术支持，引领现代医疗设备朝着更加智能化、精确化方向发展。产品特点在多方面得以呈现：
1、高可靠性与长期稳定性；
2、精度高，重复性好，始动流量小，量程比宽，无机械磨损。
3、微功耗、响应速度快（典型值：5ms)。
4、本产品测量原理为热质量气体流量传感器量，不受温度及压力影响。
5、独特的整流器结构，能更好的改善流场扰动状况，降低了前后直管段长度。
除了在医疗雾化行业有所突破，经过大量实验验证证明，华芯邦科技的MEMS方案较传统方案在产品触发压力的一致性以及可靠性方面更优秀。
典型应用电路图
为了应对业内世界头部医疗雾化客户的市场需求，华芯邦科技已经具备了超过每月30kk只的封测产能，从MEMS硅麦传感器的市场反应以及出货数据，MEMS方案将逐步替代传统的咪头结构方案，华芯邦也将加大投入进一步配合市场的需求以及产品转型，为医疗雾化市场提供性能更优可靠性更强的MEMS产品。
